IC STOCKER

                                      關鍵字導讀: FOUP STK MR

                                      描述:FOUP STK,高潔凈度,電纜供電,低噪音,行走免潤滑,SEMI軟件接口,碰撞保護功能,MCBF50000次,Automatic teaching,設備可定制

                                      簡介

                                      Introduction

                                      用于IC行業FOUP自動化搬送、存儲,實現晶圓在曝光、刻蝕等核心工藝之間流轉。優化結構及氣流流場設計,可使潔凈度達到ISO Class4等級要求;帶有豐富的安全設計和靈敏的碰撞保護功能,有效保護FOUP、晶圓、人身安全, 提高了產品的安全等級,減少不必要的損失;全新的系統運動邏輯規劃,提高產品搬送效率;標準的SEMI軟件接口,可以方便對接面板廠MCS系統,可實時上報系統各種狀態數據,實現工廠智能管理;可以根據客戶應用的特殊要求,定制設備功能及尺寸。


                                      參數

                                      Parameter

                                      參數:

                                      設備

                                      IC Stocker

                                      運動軸

                                      行走 / 提升/ 旋轉/ 叉取

                                      有效負載

                                      10kg

                                      控制

                                      PLC+PC

                                      電源供應

                                      VAC   220V±10%

                                      電機

                                      伺服電機

                                      行走

                                      驅動

                                      齒輪齒條+減速機+電機

                                      速度

                                      2.2m/s

                                      提升

                                      驅動

                                      電機減速機+同步帶+帶輪

                                      速度

                                      1.75m/s

                                      旋轉

                                      驅動

                                      電機+同步帶+減速機

                                      速度

                                      120°/sec

                                      叉取

                                      驅動

                                      電機減速機+同步帶+帶輪

                                      /下料時間

                                      4.8s

                                      叉取FOUP精度

                                      ±0.5mm


                                      8090午夜永久一级A片毛