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                                      真空機械手ARCHER 系列

                                      關鍵字導讀: PECVD PVD ETCH MEMS

                                      描述:直驅電機結構,全新的IO模塊,具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號硬件中斷功能。滿足個性化設計支持用戶定制,手臂長度可選,可為客戶提供接口及末端定制服務。

                                      簡介

                                      Introduction

                                      機械手本體采用多電機同軸結構,動作更加靈活穩定;高重復定位精度,并具備AWC自動糾偏功能,保證傳片精度;耐真空性,可勝任高真空環境下晶圓傳片需求。直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統運行的平穩性更好,可靠性更高。IO模塊具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據需求配置成互鎖、傳感器檢測等功能。輸入信號支持硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能,減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用,并支持熱插拔功能。在此基礎上,Archer Q41采用雙手蝴蝶手形式,四手指結構,雙取雙放,大大提高了晶圓傳片效率。Archer Q41/R41可以根據客戶應用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z軸行程,耐高溫耐腐蝕特性等。

                                      參數

                                      Parameter

                                      參數:

                                      本體重量Body Weight

                                      90KG

                                      適用晶圓尺寸Wafer Size

                                      300mm/200mm

                                      負載Payload

                                      1KG

                                      電源輸入Power Supply

                                      AC電壓:208V   AC頻率:50HZ/60HZ

                                      電源范圍 電壓波動范圍

                                      單相交流208V +10%,-15%

                                      節拍Bear

                                      8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根據手指材料,傳輸位置不同相關)

                                      動態偏差糾正精度(AWC)

                                      ±0.1mm

                                      運動范圍

                                      Range

                                      R994mm

                                      T:>360°

                                      Z135mm

                                      重復定位精度Repeatability

                                      Z: ±0.05mm3σ)

                                      T: ±0.003°(3σ)

                                      R: ±0.05mm3σ)

                                      漏率Leak rate

                                      < 5 x 10-9 std.   cc/sec He

                                      真空度Base Pressure

                                      3X10-8Torr

                                      適用溫度

                                      Applicable   temperature

                                      法蘭:<90;本體:<50;手臂:<90

                                      潔凈度Clean Class

                                      ISO CLASS1

                                      MCBF

                                      >12.8million cycles

                                      通信接口Communications

                                      Ethernet/串口serial interface

                                      IO互鎖IO interlock

                                      支持Support


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