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                                      真空機械手PHOENIX PLUS B系列

                                      關鍵字導讀: PECVD PVD ETCH MEMS

                                      描述:直驅電機結構,與PHOENIX B系列相比,將控制器集成到機械手本體之內,大大縮減了整體尺寸,IO處理模塊進行升級,具有先進的防碰撞保護功能。滿足個性化設計,支持用戶定制,手臂長度可選,可為客戶提供接口及末端定制服務。

                                      簡介

                                      Introduction

                                      直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統運行的平穩性好,可靠性高。與PINUS B系列相比,將控制器集成到機械手本體之內,大大縮減了整體尺寸,并且縮短了互聯線纜長度,可靠性得以提升。IO處理模塊,可以根據用戶需求配置輸入輸出數量,有效電平可以切換,用戶可以根據需求將輸出輸入引腳配置成互鎖、傳感器檢測等功能。輸入信號支持硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。碰撞保護功能可以減少用戶誤操作導致的各種損失。以示教器作為人機交互媒介,方便調試人員使用??梢愿鶕蛻魬玫奶厥庖?,定制手臂尺寸、耐高溫耐腐蝕特性等。

                                      參數

                                      Parameter


                                      參數:

                                      本體重量Body Weight

                                      50KG

                                      適用晶圓尺寸Wafer Size

                                      300mm/200mm/150mm/100mm

                                      負載Payload

                                      1KG

                                      電源輸入Power Supply

                                      24 V DC, ±5%

                                      節拍Bear

                                      10.5 s(Pick+Rotate180°+Place,與手指材料、傳輸位置相關)

                                      動態偏差糾正精度(AWC)

                                      ±0.1mm

                                      重復定位精度Repeatability

                                      Z: ±0.05mm3σ)

                                      T: ±0.006°(3σ)

                                      R: ±0.05mm3σ)

                                      漏率Leak rate

                                      < 1 x 10-9 std. cc/sec He

                                      真空度Base Pressure

                                      5X10-9Torr

                                      適用溫度

                                      Applicable   temperature

                                      法蘭:<120;本體:<50;手臂:<120

                                      潔凈度Clean Class

                                      ISO CLASS1

                                      MCBF

                                      >11million cycles

                                      復合運動

                                      Compound   motion

                                      支持Support

                                      PC遠程操作軟件

                                      支持Support

                                      通信接口Communications

                                      Ethernet/串口serial interface

                                      IO互鎖IO interlock

                                      支持Support

                                      安全區Safe area

                                      支持Support

                                      碰撞保護

                                      Collision protection

                                      支持Support


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